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廣州譜源準(zhǔn)分子激光氣體填補(bǔ)多項(xiàng)國(guó)內(nèi)空白

2014-3-14 21:01:56

廣州市譜源氣體公司通過對(duì)全球最主要準(zhǔn)分子激光器應(yīng)用的研究和開發(fā)，開創(chuàng)了準(zhǔn)分子激光氣體國(guó)產(chǎn)化的新紀(jì)元，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)準(zhǔn)分子激光氣體在醫(yī)療、光纖、平板顯示、半導(dǎo)體、電子等諸多領(lǐng)域應(yīng)用的多項(xiàng)國(guó)內(nèi)空白，目前對(duì)全球各個(gè)系列的氟化氬ArF（193nm）、氟化氪KrF（248nm）、氯化氙XeCl（308nm）、氟化氙XeF（351nm）設(shè)備均能提供相應(yīng)的產(chǎn)品。相對(duì)于以往準(zhǔn)分子激光氣體嚴(yán)重依賴進(jìn)口的情況，廣州譜源氣體準(zhǔn)分子項(xiàng)目的市場(chǎng)進(jìn)入、開發(fā)和拓展，降低了多個(gè)行業(yè)準(zhǔn)分子激光應(yīng)用和運(yùn)營(yíng)的成本。此外，以往進(jìn)口氣如無庫(kù)存的情況下，到貨周期快則2個(gè)月，慢則需要3個(gè)月，如遇到進(jìn)口清關(guān)的問題，甚至需要更長(zhǎng)的時(shí)間。廣州譜源氣體以快速靈活的生產(chǎn)和配送方式，大大縮短了準(zhǔn)分子激光氣體的供應(yīng)周期。完善的生產(chǎn)工藝體系和服務(wù)反應(yīng)體系，更好的配合了國(guó)內(nèi)客戶對(duì)效率的需求，目前，廣州譜源準(zhǔn)分子激光氣體已被眾多激光用戶、廠商所認(rèn)可和推崇，市場(chǎng)影響力和占有率也在穩(wěn)步的提升。

廣州譜源氣體通過十多年準(zhǔn)分子激光氣體的開發(fā)和研究，經(jīng)驗(yàn)告訴我們，準(zhǔn)分子激光氣體雜質(zhì)對(duì)激光腔有著嚴(yán)重的危害，雜質(zhì)中的水、氧會(huì)對(duì)腔體內(nèi)表面造成損害，從而使激光腔內(nèi)壁鈍化膜失效或剝落，影響激光的穩(wěn)定輸出和腔體的壽命；同樣，氣體對(duì)顆粒度也有非常高的要求，內(nèi)壁剝落的鈍化膜和雜質(zhì)中的粉塵在高速工作運(yùn)轉(zhuǎn)下，都會(huì)對(duì)鏡片及激光腔造成不可逆轉(zhuǎn)的永久性傷害；氣體的配制精度誤差過大給設(shè)備帶來的危害不可估量，由于氣體混配誤差過大，致使激光腔長(zhǎng)期高電壓負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)，以保證能量的穩(wěn)定輸出，在此過程中電極的壽命會(huì)加速縮短，并揮發(fā)出CF₄等有害氣體雜質(zhì)和粉塵污染物，這些雜質(zhì)將會(huì)對(duì)鏡片鍍膜層造成一定的污染，影響激光的能量輸出效率并縮短了鏡片清洗的時(shí)間間隔和使用壽命。

廣州譜源氣體擁有目前世界上先進(jìn)的氣體純化系統(tǒng)和分離技術(shù)，其中包括對(duì)惰性氣體顆粒度、H₂O、O₂、HF、CF₄、CO、CO₂、碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)的過濾和分離。廣州世源氣體對(duì)分析系統(tǒng)不斷的開發(fā)和投入，嚴(yán)格控制氣體中的微量污染物，并對(duì)氣體分裝和配制技術(shù)進(jìn)行了眾多改進(jìn)，從而顯著提升了純度和混配精度。就是這種對(duì)卓越永無止境的追求，使廣州譜源氣體準(zhǔn)分子激光氣體的穩(wěn)定性和一致性得到了有效的管理和控制，并為多個(gè)國(guó)家和地區(qū)提供產(chǎn)品服務(wù)。

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