產(chǎn)品中心

您現(xiàn)在的位置：首頁->產(chǎn)品中心->電子行業(yè)用氣體

四氟化碳|四氟甲烷|CF4

產(chǎn)品名稱：四氟化碳|四氟甲烷|CF4
其他名稱：R14
分子式：CF4
UN NO：UN1956
CAS NO：75-73-0
產(chǎn)品純度：99.999％
包裝說明：40L鋼瓶，30kg/瓶

訂購熱線：4006-377-517

四氟化碳|四氟甲烷|CF4

產(chǎn)品名稱: 四氟化碳|四氟甲烷|CF4
其他名稱: 四氟甲烷、R14、tetrafluoromethane、carbon tetrafluoride
分子式: CF4
UN No. UN1956
CAS No. 75-73-0
產(chǎn)品純度:99.99~99.9999%
包裝說明: 43L DOT鋼瓶，鋼瓶尺寸23 × 130cm，316L SS材質(zhì)閥門，閥門型號CGA660
產(chǎn)品說明: 四氟化碳在常溫常壓下為無色無臭有輕微醚味的氣體。空氣中不燃燒，是比較穩(wěn)定的無毒物質(zhì)。但是在高溫時，或與可燃氣體一同燃燒時，分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能與二氧化碳形成羰基氟。微溶于水，在25℃，101.325kPa時，水中溶解度為0.0015%(重量)。有輕微的水解作用。。四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗，太陽能電池的生產(chǎn)，激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài)，印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。由于它的化學穩(wěn)定性，四氟化碳可用于金屬冶煉，例如：銅、不銹鋼，碳鋼、鋁、蒙乃爾等；還可用于塑料行業(yè)；如：合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。
注意事項: 不燃性壓縮氣體。儲存于陰涼、通風倉間內(nèi)。倉內(nèi)溫度不宜超過30℃。遠離火種、熱源。防止陽光直射。應與易燃或可燃物分開存放。驗收時要注意品名，注意驗瓶日期，先進倉的先發(fā)用。搬運時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。泄漏時，應迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風處，并進行隔離，嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般作業(yè)工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風，加速擴散。如有可能，即時使用。漏氣容器要妥善處理，修復、檢驗后再用。四氟化碳一般認為是惰性低毒物質(zhì)，在高濃度下是窒息劑，其毒性不及四氯化碳。四氟化碳為非腐蝕性氣體，所有通用材料如鋼、不銹鋼、銅、青銅，鋁等金屬材料都可以使用，但是含鎂大于2%的合金不能用。在高溫，一些金屬起加速CF4分解的催化作用。按其催化作用增長的次序由小到大地排列則如下：因科鎳合金、奧氏體不銹鋼、鎳、鋼、鋁、銅、青銅、黃銅、銀?？梢杂镁鬯姆蚁?，環(huán)氧樹脂和醋酸纖維。尼龍在高溫，有水和空氣時變脆。聚三氟氯乙烯聚合體可以用，但稍微有膨脹。廢氣可直接排人大氣中。

上一篇：超高純氣體凈化器

下一篇：高純氨氣|NH3

訂購：四氟化碳|四氟甲烷|CF4