電子工業(yè)用氣體需求將在全球范圍內(nèi)激增

最新出版的一期英國《化學(xué)商務(wù)》雜志預(yù)測，雖然半導(dǎo)體產(chǎn)品仍是消費電子特種氣體的主力軍，但光伏技術(shù)的發(fā)展加大了電子工業(yè)氣體的需求量。只要石油價格繼續(xù)保持在高位，光伏技術(shù)就將得到大量應(yīng)用，全球電子工業(yè)氣體需求也將隨之激增。

　　總部設(shè)在美國加州圣何塞市的半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會（SEMI）預(yù)測，全球光伏市場將從2007年的130億美元增長到2012年的超過400億美元。美國市場研究公司弗里多尼亞集團稱，全球工業(yè)氣體市場2005年達410億美元，預(yù)計2010年將達510億美元。

　　電子工業(yè)氣體主要用于薄膜沉積，如化學(xué)氣相沉積（CVD）或物理氣相沉積（PVD法），這些技術(shù)主要用來制造半導(dǎo)體或光伏電池。三氟化氮（NF3）、硅烷（SiH4）和氨氣是用于半導(dǎo)體、液晶顯示器（LCD）和光伏技術(shù)領(lǐng)域的三大主要電子工業(yè)氣體。

　　薄膜太陽能電池在不同領(lǐng)域、不同自然條件下的普及應(yīng)用，使其生產(chǎn)過程中必不可少的電子工業(yè)氣體消費量以較快速度增長。美國工業(yè)氣體供應(yīng)商空氣化工產(chǎn)品公司近日預(yù)測，全球太陽能電池產(chǎn)能將以年均30%以上的速度增長。

　　未來第二代超薄薄膜硅光伏技術(shù)的發(fā)展，將刺激特種工業(yè)氣體需求繼續(xù)加快增長。空氣化工產(chǎn)品公司2007年底對外宣布，將對其設(shè)在韓國蔚山的NF3裝置進行擴能改造，到2009年，該基地的產(chǎn)能將擴大一倍達1000噸年。另外，該公司還在美國賓夕法尼亞州建有總產(chǎn)能達2200噸年的NF3裝置。

　　總部設(shè)在德國慕尼黑的瓦克公司預(yù)測，多晶硅的年需求將以10％速度增長。另有一家咨詢公司指出，90%的光伏電池是以電子級多晶硅為原料，大多數(shù)太陽能級多晶硅以氯硅烷作為一種中間介質(zhì)，并通過氣態(tài)工藝過程加工而成。