高純氣體在運輸過程中純度、干燥度和潔凈度

   氣體產(chǎn)品作為現(xiàn)代工業(yè)重要的基礎原料，應用范圍十分廣泛，在冶金、鋼鐵、石油、化工、機械、電子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、醫(yī)藥醫(yī)療等部門，均使用大量的常用氣體或特種氣體。能否將合符要求的高純氣體送至用氣點仍保持質(zhì)量合格的關鍵技術；高純氣配管技術是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分，包括系統(tǒng)的正確設計、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗測試等內(nèi)容。氣體的應用，特別對這些領域的高新技術有重要的影響，是其不可缺少的原料氣或工藝氣。也只有各種新興工業(yè)部門和現(xiàn)代科學技術的需要和推動，氣體工業(yè)產(chǎn)品才能在品種、質(zhì)量和數(shù)量等方面得到飛躍發(fā)展.
   氣體的使用在半導體制程中一直扮演著重要的角色，特別是半導體制程目前已被廣泛的應用于各項產(chǎn)業(yè)，凡舉傳統(tǒng)的ULSI、TFT-LCD到現(xiàn)在的微機電(MEMS)產(chǎn)業(yè)，皆以所謂的半導體制程為產(chǎn)品的制造流程，其中的制程包括如干蝕刻、氧化、離子布植、薄膜沉積等皆使用到相當多的氣體，而氣體的純度則對組件性能、產(chǎn)品良率有著決定性的影響，氣體供應的安全性則關乎人員的健康與工廠運作的安全。 工業(yè)生產(chǎn)中高純氣體潔凈度的控制標準