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四氟化碳《氣體應(yīng)用大全》

2019-7-23 9:40:19

四氟化碳CF4

1.別名·英文名

四氟甲烷、氟里昂14；Tetrafluoromethane、Carbon Tetraflu-oride．

2.四氟化碳用途

制冷、氣體絕緣、干蝕刻氣、氟化劑、表面處理劑、激光氣體泄漏檢驗劑。

3.四氟化碳制法

(1)C+2F2→CF4

(2)SiC+2F2→CF4+Si

(3)醋酸溶解于無水氫氟酸中，電解制取。

(4)一氧化碳和氟反應(yīng)。

4.四氟化碳理化性質(zhì)

分子量：88.005

熔點(101.325kPa)： -186.8℃

沸點(101.325kPa)： -128.0℃

液體密度(-127.94℃，101.325kPa)：1603kg/m3

氣體密度(0℃，101.325kPa)： 3.946 kg/m3

相對密度(氣體，0℃，101.325kPa)： 3.05

氣液容積比(15℃，100kPa)：436 L/L

比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2747m3/kg

臨界溫度： -45.6℃

臨界壓力： 3739kPa

臨界密度： 629kg/m3

壓縮系數(shù)：

溫度℃	壓縮系數(shù)
溫度℃	100kPa	1000kPa	5000kPa	10000kPa
1 5	0.9981	0.9763	0.7832	0.6058
50	0.9988	0.9866	0.8717	0.7637

熔化熱(-186.8℃)： 7.609 kJ/kg

氣化熱(-127.94℃，101.325kPa)： 135.65 kJ/kg

比熱容(氣體，25℃，101.325kPa)：Cp=696 J/(kg·K)

Cv=602J/(kg·K)

比熱比(氣體，25℃，101.325kPa)：Cp/Cv=1.157

蒸氣壓(-180.65 C)：0.20 kPa

(-120℃)： 165 kPa

(-50℃)： 3220 kPa

粘度(101.325kPa，0℃，氣體)：0.0161 mPa·S

(-60.0℃，液體)：0.170 mPa·S

表面張力(-80.0℃)： 6.4 mN/m

導(dǎo)熱系數(shù)(101.325kPa，0℃)：0.01503 w/(m·K)

(液體，-60.0℃)：0.07196 w/(m·K)

折射率(-73℃)： 1.151

四氟化碳在常溫常壓下為無色無臭有輕微醚味的氣體?？諝庵胁蝗紵?，是比較穩(wěn)定的無毒物質(zhì)。但是在高溫時，或與可燃?xì)怏w一同燃燒時，分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能與二氧化碳形成羰基氟。微溶于水，在25℃，101.325kPa時，水中溶解度為0.0015%(重量)。有輕微的水解作用。

5.四氟化碳毒性

四氟化碳一般認(rèn)為是惰性低毒物質(zhì)，在高濃度下是窒息劑，其毒性不及四氯化碳。

6.四氟化碳安全防護(hù)

四氟化碳為非腐蝕性氣體，所有通用材料如鋼、不銹鋼、銅、青銅，鋁等金屬材料都可以使用，但是含鎂大于2%的合金不能用。在高溫，一些金屬起加速CF4分解的催化作用。按其催化作用增長的次序由小到大地排列則如下：因科鎳合金、奧氏體不銹鋼、鎳、鋼、鋁、銅、青銅、黃銅、銀。

可以用聚四氟乙烯，環(huán)氧樹脂和醋酸纖維。尼龍在高溫，有水和空氣時變脆。聚三氟氯乙烯聚合體可以用，但稍微有膨脹。

廢氣可直接排人大氣中。

可以用聚四氟乙烯，環(huán)氧樹脂和醋酸纖維。尼龍在高溫，有水和空氣時變脆。聚三氟氯乙烯聚合體可以用，但稍微有膨脹。廢氣可直接排入大氣中。四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，其

高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻。對于硅和二氧化硅體系，采用CF4-H2反應(yīng)離子刻蝕時，通過調(diào)節(jié)兩種氣體的比例，可以獲得45：1的選擇性，這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時很有用。

在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用

由于化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng)，CF4還可以用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。

四氟化碳的溶氧性很好，因此被科學(xué)家用于超深度潛水實驗代替普通壓縮空氣。

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