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四氟化硫《氣體應(yīng)用大全》

2014-3-6 22:51:17

四氟化硫SF₄

1.別名·英文名

氟化硫；Sulfur tetrafluoride、Sulfur fluoride．

2.用途

電子氣、化學(xué)氣相淀積、氟化劑、表面處理劑、等離子干刻。

3.制法

2F₂+S→SF₄

4.理化性質(zhì)

分子量： 108.058

熔點(diǎn)： -121.5℃

沸點(diǎn)(101.325kPa)： -40.4℃

液體密度(-40.4℃，101.325kPa)：1816kg/m³

(-80℃，S.P.)： 1940.6kg/m³

氣體密度(20℃，101.325kPa)：4.558kg/m³

相對(duì)密度(氣體，空氣=1，20℃，101.325kPa)：3.783

比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2247m³/kg

臨界溫度： 90.9℃

臨界壓力： 6342.9kPa

氣化熱(-40.4℃，101.325kPa)： 200.72 kJ/kg

比熱容(氣體，25℃)： Cp=707.57 J/(kg·k)

蒸氣壓(-100℃)： 0.9kPa

(-60℃)： 32kPa

(21.1℃)： 1067kPa

表面張力(232.75K)： 19.85mN/m

四氟化硫在常溫常壓下為具有類(lèi)似二氧化硫氣體的強(qiáng)烈刺激臭的無(wú)色有毒腐蝕性氣體?？諝庵胁蝗紵?。在600℃以下很穩(wěn)定，但是遇到潮濕空氣時(shí)水解產(chǎn)生有毒的煙霧，其毒性很強(qiáng)，與光氣的毒性相似。與水和酸類(lèi)激烈反應(yīng)生成氟化氫和二氧化硫。有少量水分時(shí)能腐蝕玻璃。能溶于苯。

5.毒性

老鼠在4ppm時(shí)呼吸困難，衰弱；在20ppm時(shí)經(jīng)4小時(shí)因肺氣腫而致命。

最高容許濃度：0.1ppm(0.4mg/m³)

四氟化硫的毒作用很強(qiáng)，它與人體內(nèi)的水分作用生成氟化氫，因而對(duì)眼、皮膚和呼吸道系統(tǒng)造成嚴(yán)重的損傷。癥狀有刺激眼和咽喉，皮膚灼傷，咳嗽，肺水腫等。

6.安全防護(hù)

工作時(shí)不要露出皮膚，保持室內(nèi)空氣新鮮干燥。用氣的設(shè)備應(yīng)事先烘烤干燥，用惰性氣體沖冼，再用氟氣鈍化以增強(qiáng)其耐蝕性。設(shè)備要嚴(yán)格密封，可用氨水探漏。

干燥SF₄氣可用不銹鋼、耐鹽酸鎳基合金、鋁、鋁合金、鎳、鎳合金、銅、銅合金和玻璃。對(duì)潮濕的SF4氣體只能用蒙乃爾和因科鎳合金。可以用聚四氟乙烯和聚氯乙烯。

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