氮 氧（氬）四氟化碳 氧化亞氮 二氧化碳 六氟化硫的測(cè)定

一、儀器
采用配備氦離子化檢測(cè)器的氣相色譜儀測(cè)定三氟化氮中四氟化碳（允許采用熱導(dǎo)氣相色譜法）、氧化亞氮、二氧化碳、六氟化硫的含量。當(dāng)三氟化氮純度的體積分?jǐn)?shù)不大于99.99%時(shí)，允許采用熱導(dǎo)氣相色譜儀測(cè)定三氟化氮中氮、氧（氬）、氧化亞氮、二氧化碳、六氟化硫的含量。
儀器均應(yīng)當(dāng)配備氣路切割系統(tǒng)，用于切除樣品氣中絕大部分的三氟化氮。
二、測(cè)定條件
要求所采用的氣相色譜儀對(duì)色譜儀對(duì)三氟化氮中氮、氧（氧）、四氟化碳、氧化亞氮、二氧化碳、六氟化硫的檢測(cè)限分別不大于本標(biāo)準(zhǔn)所列相應(yīng)雜質(zhì)指標(biāo)的1/2.
三、色譜柱
切割柱：長(zhǎng)5.0m，內(nèi)徑2mm，內(nèi)裝粒度為0.18mm~0.25mm的PorapakQ有機(jī)多孔聚合物的不銹鋼柱。色譜柱在180℃通載氣活化2h后備用，切割柱使用溫度為40℃?；虿捎闷渌刃V柱。
分析柱：長(zhǎng)3.0m，內(nèi)徑2m，內(nèi)徑 內(nèi)裝粒度為0.18mm~0.25mm的HayeSepDB的氣相色譜級(jí)多孔聚合物的不銹鋼柱。色譜柱在180℃通載氣活化2h備用，分析柱柱溫約40℃?；虿捎闷渌刃V柱。
采用本標(biāo)準(zhǔn)推薦的切割柱和分析柱時(shí)，三氟化氮中的各種雜質(zhì)組分的流出順序?yàn)椋簹?、氦、氧（氬）、四氟化碳、三氟化氮、二氧化碳、氧化亞氮、六氟化硫?br />四、氣體標(biāo)準(zhǔn)樣品
當(dāng)所測(cè)定的試樣中三氟化氮純度的體積分?jǐn)?shù)不大于99.99%時(shí)，所采用的氣體標(biāo)準(zhǔn)樣品為氮、氧（氬）、四氟化氮、二氧化碳、氧化亞氮的含量應(yīng)當(dāng)與被測(cè)試樣中所對(duì)應(yīng)的含量相近，氣體標(biāo)準(zhǔn)樣品的平衡氣為氦氣。