電子特種氣體-三氟化氮行業(yè)調(diào)研報(bào)告

報(bào)告摘要： 　　電子特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準(zhǔn)確性。 　　高純?nèi)∟F3），在集成電路、大型屏幕液晶顯示屏（TFT-LCD）的生產(chǎn)中，作為清洗劑之用。由于它作為刻蝕劑和清洗劑具有快速、高效等優(yōu)點(diǎn)，目前無論在世界上，還是我國國內(nèi)，都有著很大的發(fā)展空間。 　　2004年世界NF3的生產(chǎn)能力達(dá)到了3640噸左右。具有年產(chǎn)百噸生產(chǎn)能力的生產(chǎn)廠家已有9家。目前我國在NF3氣體的年生產(chǎn)能力為300噸左右。而實(shí)際生產(chǎn)量在2004年約有30噸。我國在NF3氣體的應(yīng)用市場上，2004年需求約為200噸，并且在今后幾年中，其需求量是以50%的年增長率在快速增加。預(yù)計(jì)在2006年我國市場需求量將達(dá)到400噸左右，到2009年達(dá)到1000噸左右的需求。為此看出，我國在半導(dǎo)體和TFT液晶方面用高純NF3氣體的市場缺口甚大。 　　本報(bào)告從NF3的特性；主要生產(chǎn)工藝技術(shù)；主要應(yīng)用領(lǐng)域；世界市場現(xiàn)狀與發(fā)展；世界生產(chǎn)現(xiàn)狀與發(fā)展；國內(nèi)市場現(xiàn)狀與發(fā)展；國內(nèi)生產(chǎn)及研發(fā)現(xiàn)狀；國內(nèi)在NF3氣體方面的知識(shí)產(chǎn)權(quán)情況；NF3生產(chǎn)的經(jīng)濟(jì)效益與投資風(fēng)險(xiǎn)分析等九個(gè)方面進(jìn)行的調(diào)研，并且進(jìn)行了深入分析。本報(bào)告所引入的相關(guān)數(shù)據(jù)，均進(jìn)行了多方面的核實(shí)，具有準(zhǔn)確性、權(quán)威性。本報(bào)告是提供給籌建NF3廠家、了解此市場的經(jīng)營者、關(guān)注此產(chǎn)業(yè)發(fā)展的機(jī)構(gòu)等的一份必要參考資料。